光刻胶市场
我国光刻胶市场规模2015年已达51.7亿元,光刻胶NR9-6000PY,同比增长11%,**国际市场增速,但**占比仍不足15%,发展空间巨大。2015年我国光刻胶产量为9.75万吨,而需求量为10.12万吨,光刻胶ZPDC2-2000,依照需求量及产量增速预计,未来仍将保持供不应求的局面。据智研咨询估计,得益于我国平面显示和半导体产业的发展,我国光刻胶市场需求,光刻胶NR2-5000P???,在2022年可能突破27.2万吨。在光刻胶生产种类上,我国光刻胶厂商主要生产PCB光刻胶,光刻胶,而LCD光刻胶和半导体光刻胶生产规模较小,相关光刻胶主要依赖进口。放眼国际市场,光刻胶也主要被美国Futurrex 的光刻胶、日本合成橡胶(JSR)、东京应化(TOK)、住友化学、美国杜邦、德国巴斯夫等化工寡头垄断。
光刻胶的应用
1975年,美国的国际半导体设备与材料协会首先为微电子工业配套的**净高纯化学品制定了国际统一标准——SEMI标准。1978年,德国的伊默克公司也制定了MOS标准。两种标准对**净高纯化学品中金属杂质和(尘埃)微粒的要求各有侧重,分别适用于不同级别IC的制作要求。其中,SEMI标准更早取得世界范围内的普遍认可。
9,去胶:湿法去胶,用溶剂、用NONG硫酸。负胶,98%H2SO4+H2O2+胶=CO+CO2+H2O,正胶:BIN酮,干法去胶(ash)氧气加热去胶O2+胶=CO+CO2+H2O,等离子去胶Oxygenplasma ashing,高频电场O2---电离O- + O+, O+活性基与胶反应CO2,CO, H2O, 光刻检验